コンベア式中間バッファ　冷却タイプ

PBUC-45FBS

• 炉の下流に設置することで、熱くなった基板を冷却してバッファします。
• 10段のコンベアがリフタで上下し基板をバッファします。
• 装置外形寸法が小さくコンパクトです。
• 基板をラックへ押し込むプッシャ機構が無く基板を無理にラックへ押し込む力がかかりません。従って、薄い基板もプッシャによる破損の心配がありません。
• 従来の中間バッファに比べ収納タクトが早く、先入れ先出しにて収納、搬出を行います。
• タッチパネル表示にて、基板の収納状況が確認できます。

• 自動幅またはハンドル幅可変機構
• 安全カバー
• バッファ枚数は16段仕様もございます。
• シグナル灯
• 他社システムへの連携対応
• 弊社、ライン管理システムとの連動
• その他の特殊仕様については、ご相談に応じます。